半导体产业是未来我省经济社会发展的战略性、基础性和先导性产业,我省合肥、芜湖、滁州、池州、马鞍山等市的半导体产业呈现快速发展势头。与此同时,半导体行业集成电路制造与封装测试工艺中均有大量废水产生,尤其是封装过程中电镀工序,涉及重金属等有毒有害物质排放,环境危害较大,需要强化环境监管。
为对标长三角生态环境标准一体化,加大我省半导体行业水污染物排放监管力度,省生态环境厅编制省级地方标准《半导体行业水污染物排放标准》。前不久,省生态环境厅、省市场监管局联合发布该标准。新建半导体企业自2023年1月1日起执行,现有企业自2025年1月1日起执行。
《标准》适用于半导体行业企业的水污染物排放管理,以及半导体企业排污许可管理、建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的污染控制与管理。
以水污染物排放控制要求为核心内容,《标准》按照一般区域、特别排放区域两种情形,规定了总镉、总砷等7种一类水污染物,氟化物、化学需氧量等14种二类水污染物的直接和间接排放标准。同时,规定了半导体行业企业不同产品规格的单位产品排水量和半导体企业污水集中处理设施废水综合毒性控制项目及标准。
较此前执行的标准《电子工业水污染物排放标准》(GB 39731-2020),我省地方标准在指标限值方面有13项指标不同程度收严。其中,总氰化物直接排放限值收严60%、间接排放限值收严80%,总铬、六价铬直接排放限值和间接排放限值均收严50%,总砷直接排放限值和间接排放限值均收严60%,总铜直接排放限值收严20%、间接排放限值收严50%,化学需氧量直接排放限值收严40%,总有机碳直接排放限值收严33%、间接排放限值收严50%等,并增加了特别排放限值指标。
“《标准》实施将进一步推进行业高质量发展,发挥环境标准的倒逼和引领作用,促进产业升级与绿色发展。”省生态环境厅有关人士表示,《标准》实施后,我省半导体行业总铬、六价铬削减率为50%左右,化学需氧量削减率为40%左右,氨氮削减率为60%左右,对地表水环境质量改善有较好效果。(记者 夏胜为)